半導体・精密製造

Semiconductor & Precision

ウェハの搬送や、精密部品の取り扱いを、専用のロボットで検討します。

確認用

映像候補(ご確認用)

掲載する映像を1本お選びください。選ばれた映像だけを掲載します。

映像にカーソルを合わせる(スマートフォンでは映像をタップする)と、再生します。

  • 候補A

    フォークを複数備えたエンドエフェクタが、ウェハカセットのウェハを取り出し、置く様子

    ウェハカセットへの搬送

    出典:本社資料(中期業績会 PPT)

  • 候補B

    円筒形の搬送ロボットが、ガラス基板をハンドで保持して装置内を運ぶ様子

    ガラス基板の搬送

    出典:本社資料(中期業績会 PPT)

  • 候補C

    琥珀色のカバー付きの容器を、アームが開閉してガラス基板を出し入れする様子

    基板容器の開閉

    出典:本社資料(中期業績会 PPT)

映像:RobotPhoenix 本社資料より(中国での撮影。日本国内の導入現場ではありません)

確認用

選ばれた映像1本が、ここに入ります。

選定後は、左に映像、右に業種の紹介という並びで掲載します。

概要

半導体・精密製造の現場では、ウェハのように薄く壊れやすい対象物を、装置から装置へ搬送する工程があります。

ウェハ搬送ロボットは、搬送するウェハの寸法や枚数、設置する装置の条件に合わせて機種を選びます。精密な部品の取り扱いでは、SCARAロボットと画像認識を組み合わせる方法も検討の対象です。

  • ウェハ搬送
  • 精密部品の取り扱い

使用製品

この業種でご検討いただく主な製品です。最終的な機種は、ワークと現場条件を伺って選びます。

  • RW-A222Dの製品画像

    ウェハー搬送・Lobstarシリーズ

    RW-A222D

    デュアルZ軸のデュアルアームロボット(可搬質量55〜65 kg)

    アーム形式
    デュアルアーム
    制御軸数(サーボ)
    5
    動作範囲(デュアルZ軸)
    450mm+450mm
    動作範囲(T軸)
    0〜340°
    動作範囲(R/W軸)
    720mm(アーム長190 mm)
  • Python450-B6の製品画像

    SCARA・Pythonシリーズ

    Python450-B6

    速度・精度・直線性に優れたアーム長450 mmのモデル

    アーム長(第1・第2アームの合計)
    450mm
    繰り返し位置決め精度(第1・2軸)
    ±0.02mm
    繰り返し位置決め精度(第3軸)
    ±0.01mm
    繰り返し位置決め精度(第4軸)
    ±0.01°
    定格可搬質量
    3kg

仕様:RobotPhoenix 本社英語サイト(robotphoenix.ai)の掲載値(2026年10月時点)。詳細は仕様書をご確認ください。

カタログ・仕様書は、資料ダウンロードのページからご覧いただけます。

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