概要日本語校正前
RW-A222D（デュアルZ軸ロボット）は、高精度なハンドリングに向けた、デュアルアームの自動化ソリューションです。可搬質量は55〜65 kg。AC 220 Vで動作し、下部取付の設計で、システムに組み込みやすいコンパクトで安定した構成を提供します。
仕様
| アーム形式 | デュアルアーム |
|---|---|
| 制御軸数（サーボ） | 5 |
| 動作範囲（デュアルZ軸） | 450mm+450mm |
| 動作範囲（T軸） | 0〜340° |
| 動作範囲（R/W軸） | 720mm（アーム長190 mm） |
| 繰り返し位置決め精度（Z軸） | ±0.1mm |
| 繰り返し位置決め精度（T軸） | ±0.02° |
| 繰り返し位置決め精度（R/W軸） | ±0.1mm |
| 最大速度（Z軸） | 500mm/s |
| 最大速度（T軸） | 260°/s |
| 最大速度（R/W軸） | 1100mm/s |
| エア供給（CDA） | Φ6クイック継手、0.4〜0.6MPa、>20NL/min |
| 真空 | -70〜-90kPa |
| 電源 | 単相AC 220V、50/60Hz |
| 通信 | Ethernet |
| I/Oインターフェース | 8IN；8OUT |
| 定格電力 | 2kW |
| 取付方式 | 下部取付 |
| 総質量 | 55〜65kg（電気キャビネットを除く） |
| ティーチングペンダント | あり（ケーブル長5m） |
| ケーブル長（ロボット–コントローラ間） | 3m（標準） |
| 電気キャビネットの寸法 | 435×300×155mm |
仕様：RobotPhoenix 本社英語サイト（robotphoenix.ai）の掲載値（2026年10月時点）。詳細は仕様書をご確認ください。項目名は日本語に訳しています（日本語校正前）。 本社サイトの該当ページ（英語）
主な用途日本語校正前
カタログ・仕様書
RW-A222Dを含むウェハー搬送の製品資料は、資料ダウンロードのページからご覧いただけます。
