概要日本語校正前
RW-V111B（ダイレクトドライブ）は、高精度な半導体用途に向けた、コンパクトなデュアルアームのウェハ搬送ロボットです。可搬質量0.5 kg、DC 48 V／DC 24 Vの電源で、上部取付による柔軟な組み込みに対応し、信頼性の高いウェハハンドリングを実現します。
仕様
| アーム形式 | デュアルアーム |
|---|---|
| 動作範囲（Z軸） | 40mm |
| 動作範囲（T軸） | 0〜360° |
| 動作範囲（R/W軸） | 351mm（カスタマイズ可） |
| 最大速度（Z軸） | 250mm/s |
| 最大速度（T軸） | 360°/s |
| 最大速度（R/W軸） | 1000mm/s |
| 繰り返し位置決め精度（Z軸） | ±0.05mm |
| 繰り返し位置決め精度（T軸） | ±0.006° |
| 繰り返し位置決め精度（R/W軸） | ±0.05mm |
| 可搬質量 | 0.5kg（エンドエフェクタを含む） |
| 制御軸数（サーボ） | 3 |
| 取付方式 | 上部取付 |
| 総質量 | 50kg |
| 真空度 | <1×10-⁶Pa |
| 本体リークレート | <1×10-⁹std.cc/sec He |
| ケーブル長（ロボット–コントローラ間） | 3m（標準） |
| I/Oインターフェース | 5IN；8OUT |
| 電源 | DC48V 25A、DC24V 5A |
仕様：RobotPhoenix 本社英語サイト（robotphoenix.ai）の掲載値（2026年10月時点）。詳細は仕様書をご確認ください。項目名は日本語に訳しています（日本語校正前）。 本社サイトの該当ページ（英語）
主な用途日本語校正前
カタログ・仕様書
RW-V111Bを含むウェハー搬送の製品資料は、資料ダウンロードのページからご覧いただけます。
