概要日本語校正前
PTE-141は、カスタマイズ仕様の製品です。総部サイトの仕様表には、PTE-121／PTE-131／PTE-141の3型式が並び、ロードポート数はそれぞれ2／3／4と記載されています。
※総部サイトの記載はカスタマイズ仕様である旨と仕様表のみです。詳細は日本窓口へご確認ください。
仕様
| ロードポート数（PTE-121／PTE-131／PTE-141） | 2／3／4 |
|---|---|
| 搬送対象 | 300mmウェハ（直径300±0.2 mm、厚さ775μm） |
| 対応キャリア | 25スロット 300mm FOUP（SEMI E47.1）／25スロット 300mm FOSB（SEMI M31） |
| 電源 | 単相AC220V±10%、50/60Hz±5%、4kVA（FFU含む） |
| 真空 | -80kPa〜-90kPa |
| 圧縮空気 | 0.6MPa〜0.7MPa |
仕様：RobotPhoenix 本社英語サイト（robotphoenix.ai）の掲載値（2026年10月時点）。詳細は仕様書をご確認ください。項目名は日本語に訳しています（日本語校正前）。 本社サイトの該当ページ（英語）
主な用途日本語校正前
カタログ・仕様書
PTE-141を含むウェハー搬送の製品資料は、資料ダウンロードのページからご覧いただけます。
