Lobstarシリーズ
半導体製造に向けたウェハ搬送ロボットのシリーズです。RW-V111B、RW-A000H、RW-A222D、PTE-141の4型式を掲載しています。 日本語校正前
4 型式
PTE-141
ロードポート数4のカスタマイズ仕様
カタログ・仕様書
ウェハー搬送の製品資料は、資料ダウンロードのページからご覧いただけます。
関連するソリューション・業種
仕様：RobotPhoenix 本社英語サイト（robotphoenix.ai）の掲載値（2026年10月時点）。詳細は仕様書をご確認ください。